压电薄膜是通过将氧化锌（ZnO）溅射到蓝宝石或石英等介质上制作具有C轴取向的薄膜而获得。
由于薄膜是通过溅射形成的，所以可以制造出100MHz以上的高频探头。
可制作的频率范围：从100MHz到400MHz。
传感器由一个端面是球形透镜的杆状介质（声透镜），另一端面是C轴取向的氧化锌（ZnO）薄膜组成。蓝宝石或石英可作为媒介。
施加于氧化锌（ZnO）薄膜的电信号被转换为超声波而形成平面波在声学透镜中传播，经端面的声学球形透镜聚焦并辐射到水中。
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