石英振动体清洗机[高频率]｜W-357-1MQG-SKC

2006年，世界上第一台石英振动体超声清洗装置投入实际使用。
在这种方法中，通过在石英振动体上叠加超声波对半导体晶圆进行清洗。
与批量清洗和流水清洗相比，可以减少化学品的使用量，由于只有石英玻璃与液体接触，没有垫片等橡胶材料与液体接触，因此能保持较高的清洁度。
石英振动体有不同的形状，以适应不同的用途，能够根据需要进行有效的清洗，如低损伤清洗、大面积清洗、斜面（边缘表面）和缺口（晶圆边缘表面的缺口）的清洗等。

对具有细微结构的晶片进行低损伤清洗

■通过在石英振动元件上叠加超声波对半导体晶片进行清洗。
将超声波振动从石英振动元件通过化学溶液传播到半导体晶片上，接触区的化学溶液振动，加速去除表面污染。
■清洁度高，对半导体晶圆的损害最小。
与使用橡胶材料（如垫片）的设备相比，使用石英与化学溶液接触，可以确保清洁，而不会有橡胶溶出。
■震荡器冷却功能通过用气体（如氮气）冷却震荡器，可以实现稳定的连续工作，没有频率波动。
冷却还能确保没有温度的突然变化，从而延长使用寿命。

胶体残留物的清除
封边和灰化后的聚合物清除
栅电极极清洗
CMP后的清洗

■发振器

●可变的输出范围：0W到12W（振动体的允许输入：当使用空气吹扫冷却时，连续10W）。
●周围操作环境：温度：15至35℃，湿度：10至85%。
●外部驱动触点额定值：超声波振荡控制（控制侧）触点输入：12 V DC 16 mA min.
　报警输出（主单元）触点容量：24 V DC 0.5 A
■附属电缆：电源线（100V为2米/200V为3米），控制线（5米）x4

●工作液体温度范围：20-50℃。
●换能器：PZT
●材料：振动器：石英玻璃，垫片：硅橡胶，外壳：PCTFE
●线长：输出线1.5米+继电器线3.5米
●冷却气体接头：兼容管（外径ø6）

*2MHz和3MHz也可根据特别订单提供。