W-357BM系列[高频分离型]

W-357BM系列[高频分离型]

用途（槽式清洗机）

・磁头清洗
・晶圆清洗
・蓝宝石晶圆清洗
・加工后的半导体器件的清洗
・硬盘清洗
・容易受损的铝和镜面抛光的产品等的清洗。

对象物体

对象物体

・微颗粒  
・助焊剂  
・药液

特长

・数字控制确保稳定的振荡。
・各种接口能够为不同的控制需求提供连接。
・超声波输出可以以1W为单位进行调整。

规格

发振器

类型 W-357BM-600 W-357BM-1200
发振方式 单频振荡
额定输出 600W 1200W
输出变量范围 100W~600W 200W~1200W
标称振荡频率 1MHｚ
电源输入 AC200V〜240V
单相 50/60Hz 1200VA		 AC200V〜240V
单相 50/60Hz 2400VA
显示 VFD（荧光显示管）16个字符×2行
外接界面 模拟输出 4-20mA电流输出
触点输出 3点 报警输出、振荡检测输出、电源接通输出
外部驱动器输入 2点 传感器输入，远程输入
RS485通信 MODBUS®协议，RTU模式*1
外部尺寸（不包括凸出部分，包括橡胶脚）
WxDxHmm		 220×360×143 360×360×143　
质量  5kg 7kg

●周围工作环境：温度：5~40℃，湿度：5~80%（无凝露）
●电源线长度：3米

*1 MODBUS是施耐德电气美国公司的注册商标。

振荡器单元

可根据要求提供定制的传感器单元。
・最大允许的输入：600 W / 1200 W / 1800 W / 2400 W / 3000 W / 3600 W
・支持的晶圆：6" / 8" / 12"

F型 ｜ 振板式

F型 ｜ 振板式

 

 

 

类型

W-357BM-600F

 W-357BM-1200F
发振器类型 W-357BM-600 W-357BM-1200
最大的输入许可 600W 1200W
标称驱动频率 1MHｚ
有效照射面积
W×Dmm		 135×160 272×154
外部尺寸
W×D×Hmm（不包括布线和管道工程）		 250×220×68 355×245×68
材质 板：SUS316L　表面電解研磨
质量 3.3kg 7kg
支持的晶圆尺寸 6 inch 8 inch
换能器线长 5m 5m×2

●接液部材質：振動板：SUS316L
●使用液温度範囲：5～80℃
●振動子：PZT

S型 ｜ 槽型

S型 ｜ 槽型

 

类型 W-357BM-600S W-357BM-1200S
发振器类型 W-357BM-600 W-357BM-1200
最大的输入许可 600W 1200W
标称驱动频率 1MHｚ
有效照射面积
W×Dmm		 135×160 135×160　2处
尺寸
W×D×Hmm
（不包括突出的部分）		 外形 302×296×372(包括橡胶脚） 496×336×372(包括橡胶脚）
内槽 248×236×252 442×276×252
材质 水槽：SUS316L 垫片：氟橡胶，PTFE
排水阀 1/2 inch
质量 11.6kg 18kg
支持的晶圆尺寸 6 inch 6 inch ×2
换能器线长 5m 5m×2

●接液部件材料：振板、水槽：SUS316L 垫片：PTFE 供水/排水管接头：SUS304
●工作液体温度范围：5-80°C
●换能器：PZT

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